設(shè)計(jì)一種異形擬懸臂梁結(jié)構(gòu)的螺旋線形彈性固支單向閥，并把這種單向閥安裝哈默納科中空諧波減速機(jī)CSF-8-100-2XH-F在有閥壓電泵的泵腔內(nèi)形成螺旋線形閥壓電泵，分析螺旋線形閥壓電泵的工作原理，然后依照泵內(nèi)部能量傳遞的路徑建立壓電驅(qū)動(電壓、頻率) 為輸入與泵流動(流量、壓差)為輸出之間的關(guān)系式， 最后加工試驗(yàn)樣機(jī)，哈默納科中空諧波減速機(jī)CSF-8-100-2XH-F并進(jìn)行性能測試試驗(yàn)，試驗(yàn)驗(yàn)證螺旋線形閥壓電泵的有效性和理論分析的正確性。
壓電泵用螺旋線形彈性固支閥(以下簡稱螺旋線形閥)，由閥體、定位器和螺旋線形曲臂(以下簡稱曲臂)組成，閥的制作材料為彈簧鋼片。為螺旋線形閥壓電泵的結(jié)構(gòu)示意圖。該泵主要包括壓電振子、泵蓋、泵體、螺旋線形閥、底座和進(jìn)/出水管。在泵體的進(jìn)口和出口處用螺釘通過定位器分別安裝有一對相互倒置的螺旋線形閥，閥體與泵體的進(jìn)口孔和出口孔相對應(yīng)哈默納科中空諧波減速機(jī)CSF-8-100-2XH-F， 安裝在泵體進(jìn)口處的螺旋線形閥為吸入閥，安裝在泵體出口處的螺旋線形閥為排出閥。