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產(chǎn)品簡介

ASML 4022.470.6291進口

產(chǎn)品價格：￥654.00元/件

上架日期：2025-05-02

發(fā)貨地：福建寧德市

供應(yīng)數(shù)量：不限

最少起訂：1件

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詳細說明

詳細參數(shù)
品牌	ASML	型號	4022.470.6291進口
結(jié)構(gòu)形式	模塊式	安裝方式	現(xiàn)場安裝
LD指令處理器	硬PLC	加工定制	否

ASML 4022.470.6291進口

參數(shù)詳解

ASML 4022.470.6291是ASML公司生產(chǎn)的一款關(guān)鍵設(shè)備組件，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。以下是該組件的主要參數(shù)介紹：

基本參數(shù)

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型號：ASML 4022.470.6291

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類型：光學(xué)系統(tǒng)組件

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尺寸：約320mm x 240mm x 150mm（具體尺寸可能因版本而異）

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重量：約5.2公斤

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工作電壓：24V DC

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功耗：最大50W

光學(xué)性能

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波長范圍：193nm（深紫外光）

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數(shù)值孔徑：0.93

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分辨率：支持45nm及以下工藝節(jié)點

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透過率：大于95%

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光學(xué)均勻性：優(yōu)于99.5%

環(huán)境要求

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工作溫度：20°C至25°C

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存儲溫度：-20°C至60°C

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濕度范圍：20%至80% RH（無凝露）

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潔凈度等級：ISO Class 5（相當于舊標準的Class 100）

機械性能

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抗震性：可承受最大1.0G的加速度

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安裝方式：模塊化安裝，支持快速更換

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連接接口：標準光纖接口及電氣接口

兼容性

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設(shè)備兼容：主要適用于ASML的TWINSCAN系列光刻機，具體型號包括TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:1950i等。

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軟件兼容：支持ASML的YieldStar、ASML Brion等軟件平臺，確保無縫集成和高效運行。

其他特性

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冷卻系統(tǒng)：內(nèi)置高效冷卻系統(tǒng)，確保長時間穩(wěn)定運行

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壽命：設(shè)計使用壽命超過10,000小時

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維護要求：定期清潔和校準，建議每6個月進行一次全面維護

ASML 4022.470.6291憑借其卓越的光學(xué)性能、穩(wěn)定的機械特性以及高度的兼容性，成為半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的一部分。其高分辨率和大透過率確保了芯片制造的高精度和高效率，為半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展提供了重要支持。

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寧德潤恒自動化設(shè)備有限公司

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