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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ASML 4022.428.11000

產(chǎn)品價(jià)格：￥545.00元/件

上架日期：2025-05-02

發(fā)貨地：福建寧德市

供應(yīng)數(shù)量：不限

最少起訂：1件

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詳細(xì)說(shuō)明

詳細(xì)參數(shù)
品牌	ASML	型號(hào)	4022.428.11000
結(jié)構(gòu)形式	模塊式	安裝方式	現(xiàn)場(chǎng)安裝
LD指令處理器	硬PLC	加工定制	否

ASML 4022.428.11000

設(shè)備參數(shù)詳解

ASML 4022.428.11000是ASML公司生產(chǎn)的一款先進(jìn)的半導(dǎo)體制造設(shè)備，專(zhuān)為高精度芯片制造而設(shè)計(jì)。以下是該設(shè)備的詳細(xì)參數(shù)介紹：

基本參數(shù)

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型號(hào)：ASML 4022.428.11000

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類(lèi)型：光刻機(jī)

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制造商：ASML（荷蘭）

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適用工藝：極紫外（EUV）光刻技術(shù)

技術(shù)規(guī)格

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光源波長(zhǎng)：13.5納米，采用極紫外（EUV）光源，能夠?qū)崿F(xiàn)更高的分辨率和更小的線(xiàn)寬。

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分辨率：支持7納米及以下工藝節(jié)點(diǎn)的芯片制造，具備出色的圖案分辨率能力。

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套刻精度：具有極高的套刻精度，確保多層圖案的對(duì)準(zhǔn)誤差最小化。

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生產(chǎn)效率：每小時(shí)可處理多達(dá)125片晶圓，顯著提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)出量。

光學(xué)系統(tǒng)

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鏡頭類(lèi)型：采用高數(shù)值孔徑（NA）鏡頭，確保光刻過(guò)程中的高成像質(zhì)量。

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數(shù)值孔徑（NA）：高達(dá)0.33，有助于提升分辨率和焦深。

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照明系統(tǒng)：配備先進(jìn)的照明系統(tǒng)，提供均勻且穩(wěn)定的光源分布。

機(jī)械與物理參數(shù)

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尺寸：設(shè)備體積龐大，長(zhǎng)×寬×高約為20米×5米×4.5米，需安裝在特定的潔凈室環(huán)境中。

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重量：約180噸，需要穩(wěn)固的基礎(chǔ)設(shè)施來(lái)支撐。

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功耗：運(yùn)行功率較高，以確保設(shè)備的高效穩(wěn)定運(yùn)行。

控制系統(tǒng)

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自動(dòng)化程度：高度自動(dòng)化，集成了先進(jìn)的控制系統(tǒng)和軟件，實(shí)現(xiàn)智能化操作和監(jiān)控。

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數(shù)據(jù)處理能力：具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理能力，能夠快速處理復(fù)雜的圖案數(shù)據(jù)。

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接口：支持多種通信接口，便于與其他設(shè)備和系統(tǒng)進(jìn)行集成。

環(huán)境要求

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溫度控制：需在恒溫環(huán)境下運(yùn)行，溫度波動(dòng)范圍需控制在±0.1°C以?xún)?nèi)。

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濕度控制：濕度需保持在低水平，以確保設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和防止靜電干擾。

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潔凈度：要求極高的潔凈度等級(jí)，通常在ISO Class 1級(jí)別。

安全與維護(hù)

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安全防護(hù)：設(shè)備配備了完善的安全防護(hù)系統(tǒng)，包括緊急停止按鈕、安全防護(hù)欄等，確保操作人員的安全。

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維護(hù)保養(yǎng)：需要定期進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)，以確保設(shè)備的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行和延長(zhǎng)使用壽命。

ASML 4022.428.11000作為一款頂尖的光刻設(shè)備，其卓越的性能和參數(shù)指標(biāo)為半導(dǎo)體制造業(yè)的發(fā)展提供了強(qiáng)有力的支持。通過(guò)深入了解這些參數(shù)，可以更好地理解該設(shè)備在芯片制造過(guò)程中的重要性和優(yōu)勢(shì)。

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