應(yīng)用對(duì)象包括：刻蝕、RIE、PECVD、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等系統(tǒng)，也可作為工廠業(yè)系統(tǒng)中感應(yīng)加熱和電介質(zhì)加熱設(shè)備的電源。
型號(hào)：
CLX系列低頻電源、CLF系列低頻電源、CX系列高頻電源、CX5K和CX10K高頻射頻功率源、CXH系列高功率/高頻電源、CPS系列高頻電源、CB系列高頻射頻電源、CV系列甚頻（VHF）電源、CDX系列雙頻電源、XDC1000直流電源、MATCH自動(dòng)調(diào)諧網(wǎng)絡(luò)、ESC系列靜電夾盤電源。
公司承接所有品牌射頻電源維修，對(duì)維修的電源公司提供半年以上保修服務(wù)歡迎來電咨詢。
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