明電舍(MEIDENSHA)真空電容器 明電舍MEIDEN可變真空電容器 明電舍MEIDEN固定真空電容器
明電舍通過40年對真空斷路器的開發(fā)制造，積蓄了該領(lǐng)域的豐富技術(shù)經(jīng)驗，成功開發(fā)制造出高性能,高信賴的真空電容器。真空機器的制造，通常有兩種方式1）由真空泵不停排氣方式,2)制造中的真空封閉方式。本公司的真空電容器，采用了真空封閉方式進行制造，并且采用了長時間保持真空狀態(tài)的構(gòu)造。其產(chǎn)品用于：液晶屏面板制造裝置領(lǐng)域，太陽能電池板制造領(lǐng)域，醫(yī)療?測量機器領(lǐng)域，半導體制造裝置領(lǐng)域，廣播電視播放領(lǐng)域，科學研究領(lǐng)域等官方應(yīng)用于阻抗箱，匹配箱 阻抗匹配RF系統(tǒng) matching box上使用
真空電容器MEIVAC的特征是
高耐電壓 真空的耐電壓高，易于實現(xiàn)小型化；
低損失 可以適用于高RF頻率；
大電流通電 無整流子結(jié)構(gòu)形式，適合大電流；
高信賴性 具有自我恢復(fù)性，可以承受瞬間過電壓；
SCF-153.5H52WR
SCV-514M 5KV-1400PF
SCV-152.5
SCV-151
SCV-204
SVC-514M
SCV-520M
SCV-205G
SCV-155M
SCF-200.5C
SCF-53Z
SCF-201C
SCF-152Z
BDS5-3040
SCF-151Z
SCV-7.55
SCF-151.5Z
SCV-520M
SCF-55Z
SCV-514M
KIU-KR DC110V 14VA
NTG-81 0.2-1.0A 220V 50HZ
KI0-LGR 3A DC110V 0.5-2.0A
KI0-C6R DC110V 5A 50HZ 18VA
NTG-91 0.1-1.0A 220V 50HZ
SCV-152.5
SCV-250.8D
SCV-202D
SCV-104G
SCV-510M
SCV-1014G
SCV-151H55UW
SCV415H65UW
SCV-55FH55UW
SCV-85H55UW-NP
SCV-515G
SCV-152.5GT
SCV-152.5H55UW-C
SCV-125H65UW-C
SCV-415H65UW-C
SCV-85H55UW-C
SCV-510H55UW-C
SCV-415H55UW-C
SCF-200.5G
SCF-150.75Z
SCF-150.5Z
SCF-153.5H52WR
規(guī)格
形式
SCV-155M
SCV-510M
SCV-514M
高峰試驗電壓 [kVp]
15
5
5
靜電容量[pF]
50-500
50-1000
90-1400
RF動作電壓 [kVp]
9
3
3
直線可變性 (pF/N)
42±4
(65pF 以上)
88±6
(80pF 以上)
115±8
(150pF 以上)
轉(zhuǎn)速（回）
12±1
12±1
12±1
容許電流 [Arms]
(at 13.56MHz)
100
100
100
回轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)矩（N?cm）
(kgf?cm)
24.5
2.5
24.5
2.5
24.5
2.5
重量（kg）
尺寸（長度×直徑） (mm)
1.3
140×φ73
1.35
140×φ73
1.4
140×φ73
真空電容器 MEIVAC
MEIVAC真空電容器系列，是基于明電舍的真空技術(shù)而開發(fā)的一種真空電容器。
真空電容器有以下用途
1 作為半導體薄膜制造設(shè)備的阻抗整合器
2 通信器材的發(fā)報線路，同調(diào)回路
3 誘電加熱設(shè)備的共振回路
4 各種高頻率電源的電壓增幅回路
近年來，由于半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，真空電容器的用途擴大至CVD，蝕刻，滴濺設(shè)備等半導體薄膜制造設(shè)備阻抗
整合應(yīng)用領(lǐng)域。
真空可變電容器
真空可變電容器是通過移動真空容器內(nèi)的電極而實現(xiàn)靜電容量的變化的電容器。
除了了裝置115MM標準的型號，還搭載了耐高壓特殊電極的黃金型號，同時通過風箱構(gòu)造以及增強材質(zhì)的大電
流低扭矩型（H系列）。
