德國(guó)ADL加速器電源GG03輸出電壓0-1000VDC用于離子束加工
德國(guó) ADL GG03 是一款專為工業(yè)應(yīng)用設(shè)計(jì)的高精度直流電源,隸屬于 Analoge und Digitale Leistungselektronik GmbH(ADL)公司的加速器電源系列,主要用于離子源、等離子體工藝及薄膜涂層設(shè)備。以下是其核心功能特點(diǎn):
1. 精準(zhǔn)的輸出控制與寬范圍適配
高電壓輸出能力:
輸出電壓范圍覆蓋0-1000V DC,最大輸出電流為30mA,功率可達(dá)30W。支持連續(xù)可調(diào),滿足離子束加工、濺射鍍膜等對(duì)電壓穩(wěn)定性要求極高的場(chǎng)景。
輸入兼容性:
輸入電壓為230V AC(50/60Hz),適配全球主流電網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn),無(wú)需額外降壓設(shè)備即可直接接入工業(yè)環(huán)境。
輸出精度:
電流 / 電壓控制精度達(dá)標(biāo)稱值的**±1%**,確保工藝參數(shù)的一致性,尤其適用于半導(dǎo)體制造等對(duì)精度敏感的領(lǐng)域。
2. 智能化控制與靈活接口
多協(xié)議通信能力:
標(biāo)配AS4、Profibus、EtherCat、RS232/485等多種工業(yè)通信接口,可無(wú)縫集成至自動(dòng)化產(chǎn)線或遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)。支持通過(guò)外部控制信號(hào)(如 0-10V 模擬量或數(shù)字信號(hào))遠(yuǎn)程調(diào)節(jié)輸出參數(shù)。
操作模式:
提供手動(dòng)面板操作和外部接口控制雙模式。用戶可通過(guò)前面板的 3? 位數(shù)字顯示屏實(shí)時(shí)監(jiān)控電流、電壓及功率,并通過(guò)旋鈕快速設(shè)定參數(shù);也可通過(guò)外部接口實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)流程控制。
自動(dòng)化功能:
內(nèi)置全自動(dòng)電弧處理算法,可檢測(cè)并抑制異常放電,確保濺射或離子束工藝的穩(wěn)定性,減少人工干預(yù)。
3. 高可靠性與防護(hù)設(shè)計(jì)
堅(jiān)固耐用的結(jié)構(gòu):
采用金屬外殼和模塊化設(shè)計(jì),通過(guò)機(jī)械強(qiáng)度測(cè)試,可承受工業(yè)環(huán)境中的振動(dòng)和沖擊。設(shè)備重量約11kg,尺寸為 218×132.5×560mm,緊湊的體積便于集成到空間有限的設(shè)備中。
高效散熱與噪音控制:
內(nèi)置風(fēng)扇強(qiáng)制風(fēng)冷,最大環(huán)境溫度支持40℃,噪音水平低于70 分貝 (A),滿足車間環(huán)境的噪音限制。
多重保護(hù)機(jī)制:
具備過(guò)流、過(guò)壓、過(guò)熱保護(hù)功能,當(dāng)檢測(cè)到異常時(shí)自動(dòng)切斷輸出并觸發(fā)報(bào)警。例如,當(dāng)溫度超過(guò)閾值時(shí),系統(tǒng)會(huì)通過(guò)降低功率或停機(jī)散熱來(lái)避免元件損壞。
4. 行業(yè)適配性與應(yīng)用場(chǎng)景
核心應(yīng)用領(lǐng)域:
微電子與半導(dǎo)體:用于離子注入、刻蝕設(shè)備的離子源供電,確保晶圓加工的精度和一致性。
光學(xué)鍍膜:為濺射設(shè)備提供穩(wěn)定電源,支持玻璃、塑料等基材的高精度涂層工藝。
傳感器制造:適配 ECR(電子回旋共振)離子源,用于納米材料沉積和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加工。
工藝兼容性:
支持直流濺射、脈沖濺射等多種鍍膜技術(shù),可根據(jù)客戶需求定制輸出波形(如單極脈沖),滿足不同材料的沉積要求。
5. 長(zhǎng)壽命與維護(hù)便捷性
高穩(wěn)定性設(shè)計(jì):
電源內(nèi)部元件經(jīng)過(guò)嚴(yán)格篩選,平均無(wú)故障時(shí)間(MTBF)長(zhǎng),適合 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行。即使使用超過(guò) 20 年,仍可通過(guò)更換模塊化組件實(shí)現(xiàn)低成本維修。
可維護(hù)性:
提供遠(yuǎn)程診斷功能,通過(guò)通信接口可實(shí)時(shí)獲取設(shè)備狀態(tài)信息,減少停機(jī)時(shí)間。此外,設(shè)備支持快速更換易損部件(如風(fēng)扇、接口模塊),維護(hù)流程簡(jiǎn)便。
總結(jié)
ADL GG03 憑借其高精度輸出、靈活的通信能力及可靠的防護(hù)設(shè)計(jì),成為工業(yè)離子源和鍍膜設(shè)備的理想電源解決方案。其模塊化架構(gòu)和行業(yè)適配性,尤其適合需要高穩(wěn)定性和長(zhǎng)壽命的半導(dǎo)體、光學(xué)及傳感器制造場(chǎng)景。盡管具體型號(hào)(如 GG03 與 GG03.1)的參數(shù)差異需參考官方文檔,但該系列電源的技術(shù)優(yōu)勢(shì)已通過(guò)全球范圍內(nèi)的實(shí)際應(yīng)用得到驗(yàn)證
德國(guó)ADL加速器電源GG03輸出電壓0-1000VDC用于離子束加工