| 超高真空光柵 | ||||||||||||||||||||||
| TONiC UHV | ||||||||||||||||||||||
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| 概述 | ||||||||||||||||||||||
| TONiC UHV圓光柵讀數(shù)頭與雷尼紹帶有IN-TRAC?光學零位的精密圓光柵兼容，包括RESM和REXM超高精度圓光柵。這些光柵系統(tǒng)在超高真空條件下提供保真度非常高的位置反饋。TONiC UHV圓光柵在2010年第二季度上市，用于高性能和可靠性要求極高的半導體和科學應用。 | ||||||||||||||||||||||
| 高性能TONiC增量式讀數(shù)頭 | ||||||||||||||||||||||
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所有TONiC讀數(shù)頭均使用最新一代雷尼紹光學濾波系統(tǒng)，經過優(yōu)化，噪聲超低。包括自動增益控制 (AGC) 和自動偏移量控制 (AOC) 在內的動態(tài)信號調整進一步增強了先進的光學系統(tǒng)設計。因此，輸出信號具有無與倫比的信號純度，細分誤差 (SDE) 為±30 nm，噪聲（抖動）達0.51 nm RMS，分辨率達0.00075角秒。 所有TONiC柵尺均包括直接嵌入到增益通道中的獨特IN-TRAC光學零位，只需單擊按鈕即可以方便地實現(xiàn)自動電子調相 — 因此，這一功能也可遠程執(zhí)行。IN-TRAC光學零位還具有在所有速度和整個工作溫度范圍內保持相位一致的優(yōu)點。 |
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| 高精度單片式不銹鋼圓光柵 | ||||||||||||||||||||||
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RESM圓光柵由沒有涂層的單片式300系列不銹鋼制成，這意味著它可按照需要進行專業(yè)清洗和去脂。該圓光柵具有一個大通孔和小截面，因此簡化了設計，同時還最大程度降低了質量和轉動慣量。此外，它采用雷尼紹具有專利的錐面安裝方式，可提供一種實現(xiàn)精細調整的簡單方法，而且在很寬的溫范圍內具有高水平的穩(wěn)定性。用于UHV應用的RESM圓光柵供有直徑范圍從52到550 mm的尺寸，還可根據(jù)要求提供定制尺寸或更大直徑。 對于最高性能的軸，TONiC UHV還可與REXM超高精度圓光柵兼容。與讀數(shù)頭配合使用時，直徑超過100 mm的REXM圓光柵總體安裝精度優(yōu)于±1角秒。增加第二個讀數(shù)頭現(xiàn)在變得非常容易，得益于DSi雙信號接口兼顧增益通道和光學零位信號組合，因此輸出對于控制器來說相當于一個精度非常高的光柵輸入。 TONiC UHV讀數(shù)頭由精選的低出氣率材料和粘合劑在指定的潔凈條件下制造而成。該產品封裝在一個真空兼容袋中以維持清潔。 |
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| 殘留氣體分析 (RGA) 測試結果 | ||||||||||||||||||||||
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通過獨立殘留氣體分析 (RGA) 測試證明整個系統(tǒng)適用于潔凈真空條件。它還適用于超真空中使用的120攝氏度的烘焙。 典型應用包括晶片處理、晶片檢測和科研。
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