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美國MKS  INSTRUMENTS成立于1961年，作為半導(dǎo)體零部件的供應(yīng)商，在氣體、真空儀器及制程控制應(yīng)用等方面有技術(shù)獨到之處，美國萬機儀器MKS  INSTRUMENTS產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心技術(shù)，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)，其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和制造過程中。

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